濃縮・回収

溶媒蒸気の発生源から溶媒蒸気を液化して回収

• 合成反応工程で使用する有機溶媒を閉鎖系で完全回収
  化学薬品の合成全般
• フォトレジストの未感光部の洗浄溶剤の回収再利用

蒸発有機溶媒の回収

• 洗浄溶媒を回収
  精密機械部品の洗浄、IT基板の洗浄、樹脂の洗い落し
• 金属粉のポリマーコーティングの際の溶剤を回収
• 真空乾燥機で蒸発する有機溶媒蒸気を回収
  常圧乾燥機、真空（減圧）乾燥機
• 噴霧乾燥機（スプレードライヤー）からの溶剤を回収
• 混合ミキサーからの溶剤を回収

 自動精製（再利用）

回収有機溶媒の脱水・精製で再利用

• 半導体洗浄液の精製再利用
  （IPA 等）
• 電子基板、フォトレジスト、 フィルムの洗浄液の精製再利用
  （PGMEA、NMP 等）

 希薄VOCガスの吸着回収

• 塗装工程で発生する VOCガスの回収
• クリーンブース、 クリーンルームの 空気の浄化

 含有機溶媒水からの溶媒の回収

有機溶媒を含む廃水から 溶媒を回収
（引火点以下に）

• 多量の水で洗浄した 後に含まれる有機溶媒の回収
  （アセトン、 ジクロロメタン、 アクリロニトリル 等）
• 廃水中の有機溶媒の量を減らして活性汚泥の負荷を軽減